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1.有铁芯直线电机 BFM系列
2.高速度,高加速度
3.采用光栅尺或磁栅尺,分辨率可达0.1μm
4.定位精度可达5μm,重复定位精度可达2μm
5.可安装多个滑台,并可分别控制
6.单轴总长度可达3000mm