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产品中心|Product Center
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LPS140系列
产品详情
· 采用有铁芯直线电机BFM系列
· 高速度，高加速度
· 采用光栅尺或磁栅尺，分辨率可达0.1μm
· 定位精度可达5μm，重复定位精度可达2μm
· 可搭接XY平台
· 可安装多个滑台，并可分别控制
· 单轴总长度可达4000mm
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